Сканирующий электронный микроскоп KYKY-EM8000F Std FEG SEM

KYKY
ОСОБЕННОСТИ И ПРЕИМУЩЕСТВА
  • Электронная пушка с катодом Шоттки, высокая яркость, хорошая монохромность, минимальное пятно луча, длительный срок службы;
  • Стабильный электронный пучок, высокий КПД;
  • Возможность работы в низком вакууме;
  • Простой, удобный и дружественный интерфейс управления;
  • Стабильная работа без ремонта в течении 2 лет.
ХАРАКТЕРИСТИКИ
ЭЛЕКТРОННАЯ ПУШКА
ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА
ДЕТЕКТОРЫ
СТОЛИК ДЛЯ ОБРАЗЦА
МОДИФИКАЦИИ
ОПЦИИ

ХАРАКТЕРИСТИКИ

РАЗРЕШЕНИЕ: SE,15 кВ: 1,5 нм

РАЗРЕШЕНИЕ: BSE,20 кВ: 3 нм

УВЕЛИЧЕНИЕ: 15X- 500000X

УСКОРЯЮЩЕЕ НАПРЯЖЕНИЕ: 0 - 30 кВ

ТОК ПУЧКА: 10 пА - 0. 3 мкА

РАЗМЕР ОБРАЗЦА, Ø: 175 мм

ЭЛЕКТРОННАЯ ПУШКА

Автоэмиссионная электронная пушка с катодом Шоттки
Ток пучка 10пА - 0.3 мкА
Ускоряющее напряжение 0 – 30 кВ


ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА

Ионный, турбомолекулярный, ротационный насосы

ДЕТЕКТОРЫ

  • Высоковакуумный детектор вторичных электронов SE (с защитой детектора);
  • Полупроводниковый четырехсегментный детектор обратного рассеяния (BSE)

СТОЛИК ДЛЯ ОБРАЗЦА

Пятиосевой эуцентрический моторизованный столик
Диапазон перемещений
X -0 – 80мм
Y - 0 – 50мм
Z - 0 – 30мм
R - 360°
T - -5-° 70°

МОДИФИКАЦИИ

EBL, STM, AFM, нагревательный столик, крио столик, столик для растягивания образцов, микро-нано манипулятор, SEM+система напыления, SEM+лазер и др.

ОПЦИИ

CCD, X-Ray Detector (EDS), EBSD, CL, WDS, установка напыления, пятиосевой моторизованный столик и др.