ЭЛЕКТРОННАЯ ПУШКА
Автоэмиссионная электронная пушка с катодом Шоттки
Ток пучка 10пА - 0.3 мкА
Ускоряющее напряжение 0 – 30 кВ
ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА
Ионный, турбомолекулярный, ротационный насосы
ДЕТЕКТОРЫ
- Высоковакуумный детектор вторичных электронов SE (с защитой детектора);
- Полупроводниковый четырехсегментный детектор обратного рассеяния (BSE)
СТОЛИК ДЛЯ ОБРАЗЦА
Пятиосевой эуцентрический моторизованный столик
Диапазон перемещений
X -0 – 80мм
Y - 0 – 50мм
Z - 0 – 30мм
R - 360°
T - -5-° 70°
МОДИФИКАЦИИ
EBL, STM, AFM, нагревательный столик, крио столик, столик для растягивания образцов, микро-нано манипулятор, SEM+система напыления, SEM+лазер и др.
ОПЦИИ
CCD, X-Ray Detector (EDS), EBSD, CL, WDS, установка напыления, пятиосевой моторизованный столик и др.
РАЗРЕШЕНИЕ
1.5 нм @15 кВ (SE), 3 нм @ 20 кВ (BSE)