Сканирующий электронный микроскоп KYKY-EM8100F Pro FEG SEM

KYKY
ОСОБЕННОСТИ И ПРЕИМУЩЕСТВА
  • Электронная пушка с катодом Шоттки, высокая яркость, хорошая монохромность, минимальное пятно луча, длительный срок службы;
  • Возможность ускорения и замедления пучка электронов;
  • Стабильный электронный пучок, высокий КПД;
  • Наблюдение непроводящих образцов при низком ускоряющем напряжении без артефактов;
  • Простой, удобный и дружественный интерфейс управления;
  • Большой стола образцов с моторизацией по пяти осям.

РАЗРЕШЕНИЕ: SE,30 кВ: 1 нм

РАЗРЕШЕНИЕ: SE,1 кВ: 3 нм

РАЗРЕШЕНИЕ: BSE,30 кВ: 2,5 нм

УСКОРЯЮЩЕЕ НАПРЯЖЕНИЕ: 0 - 30 кВ

ТОК ПУЧКА: 10 пА - 0. 3 мкА

РАЗМЕР ОБРАЗЦА, Ø: 320 мм

УВЕЛИЧЕНИЕ: 15X -800000X

ЭЛЕКТРОННАЯ ПУШКА
ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА
ДЕТЕКТОРЫ
СТОЛИК ДЛЯ ОБРАЗЦА
ОПЦИИ
МОДИФИКАЦИИ

ЭЛЕКТРОННАЯ ПУШКА

Автоэмиссионная электронная пушка с катодом Шоттки
Ток пучка 10 пА - 0. 3 мкА
Ускоряющее напряжение 0 – 30 кВ


ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА

Ионный, турбомолекулярный, ротационный, геттерный насосы

ДЕТЕКТОРЫ

  • Высоковакуумный детектор вторичных электронов SE (с защитой детектора).
  • Полупроводниковый четырехсегментный детектор обратного рассеяния (BSE).

СТОЛИК ДЛЯ ОБРАЗЦА

Пятиосевой эуцентрический моторизованный столик
Диапазон перемещений
X: 0 – 150 мм
Y: 0 – 150 мм
Z: 0 – 60 мм
R: 360°
T: -5-° 75°

ОПЦИИ

CCD, X-Ray Detector (EDS), EBSD, CL, WDS, установка напыления и др.

МОДИФИКАЦИИ

EBL, STM, AFM, нагревательный столик, крио столик, столик для растягивания образцов, микро-нано манипулятор, SEM+система напыления, SEM+лазер и др.