СТРАНА ПРОИЗВОДСТВА: КИТАЙ
УСКОРЯЮЩЕЕ НАПРЯЖЕНИЕ: 0 - 30 кВ
ТОК ПУЧКА: 10 пА - 0. 1 мкА
РАЗРЕШЕНИЕ (SE, 30 кВ): 4,5 нм
РАЗРЕШЕНИЕ (BSE, 30 кВ): 6 нм
РАЗМЕР ОБРАЗЦА: 150 мм