УСЛОВИЯ ПОСТАВКИ
Размер и угол поворота: 6", 360градусов
Диапазон перемещений по осям XY: 6"х6"
Разрешение по перемещению: 1 мкм
Режим фиксации образца: Вакуумная адсорбция
Электрическая конструкция: Электрический плавающий электрод с переходником типа «банан», может использоваться в качестве заднего электрода
Микропозиционеры: доступно 6 микропозиционеров
Электропитание: 220 VC, 50~60 Гц
СЕРИЯ: H
lwh: 820x720x890
Weight: 170000g