Разрешение изображений: 0,5мкм ~ 4000 мкм
Диапазон сканирования: 900 мм × 600 мм × 250 мм
Макс.скорость сканирования: 500 мм/с
Макс.ускорение сканирования: 3 м/с²
Типичное время сканирования: <60S (условия тестирования: зона сканирования 10mmx10mm, соотношение разрешения 50um);
Точность позиционирования: X / Y ± 1мкм, ось Z <± 10мкм; повторная точность позиционирования: X / Y <± 0,02 мм, Z <± 0,02 мм;
Диапазон частот детектора:: 1 ~ 50 МГц; (стандартный, может быть обновлен до 230 МГц);
Регулируемое усиление на канал: -13 ~ 66 дБ; (стандартный, обновляемый);
Мощность: 220 В ± 10% / 50 Гц, 3 кВт;
Серия: SAM200
lwh: 1800x1300x1550