Сидмэл SAME200 - установка плазмохимического травления, предназначенная для травления диэлектриков и различных полимерных покрытий (резисты, полиимиды, эпоксидные смолы) для НИОКР-лабораторий, опытных и мелкосерийных производств.

Minder RIE Machine (FA-DSE-RIE) - установка плазмохимического послойного травления полупроводниковых структур. Подойдет для лабораторий с целью обработки различных диэлектриков – оскид кремния, поликремний, нитрид кремния.