Акустический сканирующий микроскоп DJ-SAM100

Dr.J Scientific (Китай)

ПРИМЕНЕНИЕ

Исследование запаковочного слоя полупроводниковой микросхемы
Измерение толщины алмаза и обнаружение внутренних дефектов

ОСНОВНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Эффективный диапазон сканирования: 350 мм × 200 мм × 110 мм
Максимальная скорость сканирования: 300 мм/максимальное ускорение сканирования: 0,8 м / с²;
Рекомендуемое разрешение для изображений: 0,5мкм ~ 4000 мкм

Характеристики

Особенности исследования алмазов

Характеристики

Разрешение изображений: 0,5мкм ~ 4000 мкм

Диапазон сканирования: 350 мм × 200 мм × 110 мм

Макс.скорость сканирования: 300 мм/с

Макс.ускорение сканирования: 0,8 м / с²

Типичное время сканирования: <70S (условия тестирования: зона сканирования 10mmx10mm, соотношение в разрешении 50um);

Точность позиционирования: X / Y: ± 1мкм, Z: ± 5мкм; повторная точность позиционирования: X / Y <± 0,01 мм, Z <± 0

Диапазон частот детектора: 1 ~ 50 МГц; (стандартный, может быть обновлен до 230 МГц);

Регулируемое усиление на канал: -13 ~ 66 дБ; (стандартный, обновляемый); частота повторения импульсов: 5 кГц; (стандартный, обновленный).

Мощность: 220 В / 50 Гц, 2 кВт

Серия: SAM100

lwh: 1350x950x1300

Особенности исследования алмазов

Измерение толщины алмаза и обнаружение внутренних дефектов

Стандартная погрешность измерения блока: Многократная погрешность измерения при ультразвуковом контроле обработанного стандартного блока составляет ± 1% при условии, что программное обеспечение выполнило калибровку твёрдости.
Погрешность измерения объекта:
Сравнение ультразвукового и визуального контроля: Возьмите более 10 точек обнаружения на одинаковом расстоянии, погрешность 90% точек будет находится в пределах ± 0,05 мм.
Повторные измерения при ультразвуковом контроле: Возьмите 10 точек обнаружения, повторите измерение 3 раза, погрешность 90% точек будет находится в пределах ±0,05 мм.
Диапазон измерения толщины: датчики подбираются в зависимости от материала и толщины объекта.

Алмазный материал: 0,3 ~ 3 мм (датчик 50–75 МГц;
Карбидный материал: 0,8 ~ 6 мм (датчик 50–75 МГц).

Способность распознавания дефектов: в пределах диапазона измерения толщины, когда скорость звука в испытуемом материале находится в пределах ± 5% от скорости звука стандартного материала, а поверхность, на которую падает ультразвук, представляет собой плоскую поверхность испытуемого объекта, способность для выявления дефектов склейки изделия в горизонтальном направлении составляет 0,15 мм (датчик 50МГц).