Используется для исследования полупроводников и в других отраслях промышленности. Он подходит для небольшой физической или химической лаборатории.
Разрешение изображений: 0,5мкм ~ 4000 мкм
Диапазон сканирования: 200мм x 100мм x 100мм;
Макс.скорость сканирования: 300 мм/с
Макс.ускорение сканирования: 5 м/с²
Типичное время сканирования: <45s (условия тестирования: область сканирования 10 мм X 10мм, разрешение отношение 50мкм);
Точность позиционирования: X / Y <± 1 мкм, Z <± 10мкм; повторная точность позиционирования: X / Y <± 0,01 мм, Z <± 0,02 мм;
Диапазон частот детектора:: 25 ~ 250 МГц; (стандарт, может быть повышен до 1,5 ГГц);
Регулируемое усиление на канал: -13 ~ 66 дБ; (стандартный, модернизируется);
Мощность: 220 В / 50 Гц, 1 кВт
Серия: SAM400
lwh: 400x500x500