РАЗРЕШЕНИЕ: SE,15 кВ: 1,5 нм
РАЗРЕШЕНИЕ: BSE,20 кВ: 3 нм
УВЕЛИЧЕНИЕ: 15X- 500000X
УСКОРЯЮЩЕЕ НАПРЯЖЕНИЕ: 0 - 30 кВ
ТОК ПУЧКА: 10 пА - 0. 3 мкА
РАЗМЕР ОБРАЗЦА, Ø: 175 мм