ЭЛЕКТРОННАЯ ПУШКА
Автоэмиссионная электронная пушка с катодом Шоттки
Ток пучка 10 пА - 0. 3 мкА
Ускоряющее напряжение 0 – 30 кВ
ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА
Ионный, турбомолекулярный, ротационный, геттерный насосы
ДЕТЕКТОРЫ
- Высоковакуумный детектор вторичных электронов SE (с защитой детектора).
- Полупроводниковый четырехсегментный детектор обратного рассеяния (BSE).
СТОЛИК ДЛЯ ОБРАЗЦА
Пятиосевой эуцентрический моторизованный столик
Диапазон перемещений
X: 0 – 150 мм
Y: 0 – 150 мм
Z: 0 – 60 мм
R: 360°
T: -5-° 75°
ОПЦИИ
CCD, X-Ray Detector (EDS), EBSD, CL, WDS, установка напыления и др.
МОДИФИКАЦИИ
EBL, STM, AFM, нагревательный столик, крио столик, столик для растягивания образцов, микро-нано манипулятор, SEM+система напыления, SEM+лазер и др.