РАЗРЕШЕНИЕ: SE,30 кВ: 3 нм
РАЗРЕШЕНИЕ: BSE,30 кВ: 6 нм
УСКОРЯЮЩЕЕ НАПРЯЖЕНИЕ: 0 -30 кВ
ТОК ПУЧКА: 10 пА - 0. 1 мкА
РАЗМЕР ОБРАЗЦА, Ø: 175 мм
РЕЖИМ НИЗКОГО ВАКУУМА: есть