РАЗРЕШЕНИЕ: SE,30 кВ: 4,5 нм
РАЗРЕШЕНИЕ: BSE,30 кВ: 6 нм
УСКОРЯЮЩЕЕ НАПРЯЖЕНИЕ: 0 - 30 кВ
ТОК ПУЧКА: 10 пА - 0. 1 мкА
РАЗМЕР ОБРАЗЦА: 150 мм
УВЕЛИЧЕНИЕ ИНВЕРТИРОВАННОЕ: 15X-250000X
УВЕЛИЧЕНИЕ ЭКРАННОЕ: 30X - 500000X