УСЛОВИЯ ПОСТАВКИ
Размер и угол поворота: 12", 360градусов
Диапазон перемещений по осям XY: 12"х12"
Диапазон перемещения по оси Z: 6 мм
Разрешение по перемещению: 10 мкм
Режим фиксации образца: Вакуумная адсорбция
Электрическая конструкция: Электрический плавающий электрод с переходником типа «банан», может использоваться в качестве заднего электрода
Микропозиционеры: доступно 12 микропозиционеров
Электропитание: 220 VC, 50~60 Гц
СЕРИЯ: E
lwh: 660x660x700
Weight: 180000g