УСЛОВИЯ ПОСТАВКИ
Размер и угол поворота: 6", 360градусов
Диапазон перемещений по осям XY: 6"х6"
Диапазон перемещения по оси Z: 6 мм
Разрешение по перемещению: 10 мкм
Режим фиксации образца: Вакуумная адсорбция
Электрическая конструкция: Электрический плавающий электрод с переходником типа «банан», может использоваться в качестве заднего электрода
Микропозиционеры: доступно 8 микропозиционеров
Электропитание: 220 VC, 50~60 Гц
СЕРИЯ: E
lwh: 640x700x730
Weight: 80000g