СИДМЭЛ SAME200 - установка микроволнового плазмохимического травления

SIDMEL

ОПИСАНИЕ
СИДМЭЛ SAME200 - установка микроволнового плазмохимического травления. Позволяет травить диэлектрики (оксид кремния) и различные полимеры (резисты, полиимиды, эпоксидные смолы). Подойдет для НИОКР-лабораторий, опытных и мелкосерийных производств.

ПРЕИМУЩЕСТВА И ОСОБЕННОСТИ

Работа с широким спектром пластиковых корпусов;
Отвечает современным требованиям безопасности
Не требуется кислота
Не требуется специальных средств защиты оператора
Более экологична по сравнению с кислотным травлением
Простой и удобный интерфейс
Обеспечивает безопасное и надежное травление пластиковых корпусов с любыми типами проволочных соединений: золотыми, медными, серебряными.
Сенсорный экран;
Сохранение рецептов травления;
Простой и понятный интерфейс;
Эргономичный дизайн;
Подстройка дисплея;
Управление на ПК с Windows на русском языке.

ПРИМЕНЕНИЕ

Декапсуляция микросхем;
Единственное решение для серебряных разварочных выводов;
Травление образцов со всеми типами проводов.

ХАРАКТЕРИСТИКИ

ИСПОЛЬЗУЕМЫЕ ГАЗЫ

ГЕНЕРАТОР ВОЗБУЖДЕНИЯ ПЛАЗМЫ

ПАРАМЕТРЫ ТРАВЛЕНИЯ

УПРАВЛЕНИЕ

БЕЗОПАСНОСТЬ

ОХЛАЖДЕНИЕ ПЛАЗМЕННОГО ИСТОЧНИКА

ХАРАКТЕРИСТИКИ

Максимальные размеры образца: диаметр 40 мм, высота 10 мм

Реакционная камера: диаметр 150 мм, 100 мм

Область травления (по центру): 15мм х 15мм

Питание установки: 220 В, 1ф, 50/60Гц, 6А

Тип загрузки камеры: открытая

lwh: 580x580x1480

ИСПОЛЬЗУЕМЫЕ ГАЗЫ

Аргон (Ar), кислород (O2), азот (N2), тетрафторид углерода (CF4) -
давление 1 - 2 бар, регулировка расхода газа: 0-200 мл/мин;
Сжатый воздух - давление 8 бар, расход: 50 л/мин.

ГЕНЕРАТОР ВОЗБУЖДЕНИЯ ПЛАЗМЫ

Мощность (регулируемая) - 0-200 Вт;
Частота - 2.4 – 2.5 ГГц;
Удаленное управление генератором - есть.

ПАРАМЕТРЫ ТРАВЛЕНИЯ

Тип источника - Surface Wave plasma source;
Типы материалов для травления - диэлектрики: оксид кремния; полимеры: резисты, полиимиды, эпоксидные смолы;
Время травления - определяется пользователем;
Скорость травления - от 10 мкм/мин;
Количество запрограммированных рецептов - возможность создавать собственные рецепты травления. Количество не ограничено.

УПРАВЛЕНИЕ

Сенсорный русскоязычный интерфейс на основе тачскрина;
Операционная система Windows 10.

БЕЗОПАСНОСТЬ

Система экстренного отключения.

ОХЛАЖДЕНИЕ ПЛАЗМЕННОГО ИСТОЧНИКА

Источник плазмы имеет водяное охлаждение с рециркуляционной охладительной системой;
Опционально, предусмотрена система водяного и воздушного охлаждения.

Посмотрите другие товары