УСЛОВИЯ ПОСТАВКИ
Диаметр пластины: 6", 8"
Толщина пластины: 50-2000μm
Размер матрицы: 300-100000μm
Размер кассеты / пластины: 4″, 5″, 6″ ,8″
Давление воздуха в CDA: 0.6~0.7MpA
Давление вакуума: -70 to -90kpA
Напряжение: 50/60HZ AC220V
Диапазон перемещения по оси XY: 260 мм х 450 мм
Повторяемость XY: ≦±1μm
Точность XY: ≦±2μm
Разрешение XY: 0.1μm
XY Максимальная скорость: 200 мм/с
Z Диапазон перемещения: 0-80 мм
Z Повторяемость: ≦±1μm
Z Точность: ≦±2μm
Z Разрешение: 0.1卩m
Z Максимальная скорость: 80 мм/с
Диапазон тета-вращения: ±10°
Тета-разрешение: 0.00001°
СЕРИЯ: A
lwh: 1124x1158x955